本文摘要：中国集成电路生产年会近日邀到了光刻机霸主ASML（阿斯麦）中国区总裁沈波参与，他出面答案了一些媒体关心的话题。

中国集成电路生产年会近日邀到了光刻机霸主ASML（阿斯麦）中国区总裁沈波参与，他出面答案了一些媒体关心的话题。尽管UMC（联电）和Globalfoundries（格罗方德，格芯）先后宣告退出7nm制程及更加先进设备工艺的研发，但ASML仍然对EUV光刻机的前景回应悲观。此前有消息认为，中芯国际（SMIC）今年应向ASML采购了一台EUV光刻机，预计明年交付给，用作7nm节点。

同时，传统的沉浸式光刻机方面，沈波称之为，今年下半年ASML已开始销售家族最先进设备的NXT：2000i，迅速不会在中国市场上也看到。另外，媒体先前有报导称之为，长江存储、上海华虹半导体分别向ASML采购了193纳米水龙头式光刻机和193纳米双工件台沉浸式光刻机NXT：1980Di，分别用作存储芯片生产、晶圆代工。据报，ASML今年一二季度的财报表明，大陆市场的销售收入占到比超过了20％左右，已与美国持平，且多达了台湾地区。

ASML今年的EUV光刻机生产能力将超过20台，清后两年将逐步提高到40台。

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